來源：學術之家整理 2025-03-18 15:38:50
《Journal Of Micro-nanolithography Mems And Moems》中文名稱：《微納光刻技術雜志》，創刊于2007年，由SPIE出版商出版，出版周期Quarterly。
《微/納米光刻、MEMS 和 MOEMS 雜志》（JM3）發表同行評審的論文，內容涉及光刻、制造、封裝和集成技術的科學、開發和實踐，這些技術對于滿足電子、微機電系統、微光機電系統和光子學行業的需求必不可少。
旨在及時、準確、全面地報道國內外ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC工作者在該領域的科學研究等工作中取得的經驗、科研成果、技術革新、學術動態等。
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